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SuperViewW白光干涉微觀形貌及粗糙度儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

NS系列薄膜臺階測量儀利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，此外還可以用于表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。

VT6000材料光學共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

SuperViewW白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)讓輪廓測量價格更為實惠。應用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

VT6000材料性能表征共聚焦測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像.

NS200探針納米級表面測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。