中圖儀器3D材料共聚焦測量顯微鏡基于共聚焦技術,結合精密Z向掃描與智能3D建模算法,可實現對納米至微米級表面形貌的高精度測量,覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應用于半導體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領域,助力企業(yè)提升質量控制效率與產品研發(fā)能力。
SuperViewW白光干涉晶圓3D形貌測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
CEM3000系列納米級成像掃描電鏡運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準調節(jié)樣品倉內真空度,滿足不同樣品的觀測需求。
CEM3000系列毫米級景深掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。
中圖儀器NS系列探針式電池薄膜臺階厚度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
中圖儀器SEM掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非??旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。