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中圖儀器SuperViewW白光表面3d輪廓儀的光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SJ5800系列臺式粗糙度輪廓度儀一體機采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍。操作靈活、智能、簡單，實現(xiàn)輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，能以3D非接觸方式對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器SJ5800工件表面粗糙度輪廓高精度測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。儀器具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)?？蛇x專業(yè)軸承夾具和滾子分析，方便測試。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)超光滑微透鏡形貌輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SJ5800輪廓儀測量儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。如分別對發(fā)動機關(guān)鍵零部件節(jié)溫器內(nèi)筒、氣門搖臂及凸輪軸進(jìn)行高精度輪廓參數(shù)檢測。